| 成果名称： | 华宇同方牌电子级氯化氢产品及生产工艺 |
| 鉴定编号： | 2003178 |
| 完成单位： | 北京华宇同方化工科技开发有限公司 |
| 所属领域： | 工业技术 |
| 成果摘要： |
采用特效催化反应、高效精馏和特种装置设备等技术制造出电子级氯化氢产品。该产品用于大规模集成电路芯片制造。经国内用户试用及与国外知名品牌氯化氢产品分析对比，其主要性能指标与国外同类产品相当，填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白。
该产品原料来源充足，供应可靠，生产线装置运行连续稳定，产品的主要技术指标具有可靠的检测手段，符合环保要求。技术路线科学、合理、先进，工艺参数稳定，具有自主的知识产权。
关键技术是脱乙炔催化剂及反应器，可使乙炔与氯化氢反应生成易于脱除的氯代烃，反应后氯化氢中的乙炔含量小于1ppm。其次是精馏塔头结构，不采用回流泵便可保持大回流比，使氯化氢中的轻重组分充分脱除，使各种杂质的含量均小于1ppm，生产出5N电子级氯化氢。
经过实验室研究、中试和工业试验，目前已达到100吨/年电子级氯化氢的生产规模。实现了电子级氯化氢产品的国产化，对我国的信息产业制造业及其它相关行业的发展具有较大的社会意义和经济意义。
产品主要技术性能指标(Q/HDHYF001-2003)如下:
1. 5N电子级氯化氢
纯度: >99.999%
杂质含量: N2 < 2ppm, O2+Ar<1ppm, THC<1ppm, H2O<1ppm
2. 4.8N电子级氯化氢
纯度: >99.998%
杂质含量: N2<5ppm, O2+Ar<2ppm, THC<2ppm, H2O<2ppm
|
| 鉴定意见： |
1. 电子级氯化氢是用于集成电路芯片制造的重要特种气体之一，对芯片、外延片的质量至关重要。北京华宇同方化工科技开发有限公司经过近十年的研制生产，采用特效催化反应、高效精馏和特种装置设备等技术研制出电子级氯化氢产品。该技术路线科学、合理、先进，工艺参数稳定，具有自主的知识产权。
2. 该产品原料来源充足，供应可靠，生产线装置运行连续稳定，产品的主要技术指标具有可靠的检测手段，符合环保要求。
3. 该产品经国内用户试用及与国外知名品牌氯化氢产品分析对比，其主要性能指标与国外同类产品相当，填补了我国电子级氯化氢产品生产的空白。
4. 该项目经过实验室研究、工厂中试和工业试验，目前已达到100吨/年电子级氯化氢的生产规模。实现了电子级氯化氢产品的国产化，对我国的信息产业制造业及其它相关行业的发展具有较大的社会意义和经济意义。
5. 鉴定所提供的资料齐全、实验数据真实可靠。
希望：
1. 实现生产过程控制的全面自动化、数字化，完善检测手段，进一步提高生产效率和产品的一致性、稳定性。
2. 密切关注客户需求，做好售后服务，积极开拓市场，提高市场占有率。
|
|